近期，泰晶科技一款采用光刻微納米加工技術(shù)的小電阻小尺寸微型音叉晶體完成產(chǎn)品設(shè)計及實驗驗證，各項性能指標(biāo)優(yōu)良，正在準(zhǔn)備量產(chǎn)階段。該款新產(chǎn)品同樣采用公司成熟的石英MEMS光刻工藝技術(shù)，提升了石英晶片的制造精度，使其具備更加優(yōu)異的耐高溫性、抗震性和可靠性。廣泛應(yīng)用于要求功耗低、時鐘準(zhǔn)確度高、進行實時時鐘顯示以及定時處理某些操作的儀表，如電表、水表、氣表，以及高精度RTC等有高精度時間要求的應(yīng)用場景。

　　經(jīng)測本產(chǎn)品指標(biāo)滿足：

　　通常情況下，晶振的諧振電阻對晶振的性能和穩(wěn)定性有很大影響。當(dāng)諧振電阻過大時，可能會導(dǎo)致晶體振蕩的頻率偏離設(shè)計值，進而影響系統(tǒng)的穩(wěn)定性和性能，更嚴(yán)重的情況可能會導(dǎo)致晶振停止振蕩，進而使系統(tǒng)失效，所以更低的諧振電阻對提高晶振整體穩(wěn)定性有很大幫助。

　　與普通晶體相比，該產(chǎn)品優(yōu)化了水晶刻蝕工藝，大大減小了產(chǎn)品的諧振電阻值。該產(chǎn)品常溫時諧振電阻平均值小于30 kΩ，寬溫度范圍內(nèi)電阻最大值小于45 kΩ，而普通晶振常溫時電阻平均值在45 kΩ左右。

　　溫度頻率特性曲線對比圖：

　　kHz光刻產(chǎn)品涉及復(fù)雜工藝及多學(xué)科，技術(shù)門檻高，研發(fā)難度大，工藝壁壘高。未來小尺寸、超高頻MHz產(chǎn)品以及高精度有源產(chǎn)品，光刻工藝是必經(jīng)之路。公司在MHz和kHz相關(guān)產(chǎn)品上持續(xù)提升自身研發(fā)創(chuàng)新能力、設(shè)計能力及市場配套能力，并逐步形成競爭優(yōu)勢，成為核心電子器件國產(chǎn)化首選品牌，并獲得國際行業(yè)內(nèi)品質(zhì)認可，產(chǎn)品品牌知名度及核心競爭優(yōu)勢全面提升。